田中 秀治 / Shuji Tanaka
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東北大学 ロボティクスコース 教授 / IEEE Fellow / 日本機械学会 フェロー / MEMS Engineer Forum 代表 / 自動車部 部長 / JST ACT-X 研究総括 / 「近代技術史学」講義担当 / 日経xTECHに執筆 / 山口県出身 / MEMS、半導体、産業史などについてポスト
Sendai
Joined May 2021
昨晩、仙台市では雪混じりの寒風が吹く中、数週間前からLED設置が行われてきた定禅寺通でイルミネーションが試験点灯された。このLEDは今も日亜化学工業製だろうか。いよいよ冬の風物詩であるSEMICON Japan付属行事の🦆🍖会が近付いてきたが、🦆愛ある駐日ジョージア大使に親近感を覚える孟冬である。
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これが半球型共振子ジャイロスコープ。ものづくり太郎さんとの対談 https://t.co/enNVzg5MoAで言っていた原子力潜水艦にも使うやつ。バイアス安定性は0.0001 º/h以下、ARWは0.00001 º/√h以下にもなる。3軸で1億円くらい?と聞いたこともあるが、主に軍事用のためお金を出しても普通には買えないはず。
半球型共振子ジャイロスコープは超高性能のハイエンド品。10年以上前、これをMEMS技術によって小形化したものがミシガン大学で提案され、研究されてきた。類似のものを中国の国防科技大学も研究し、論文発表していた。ミシガン大学発のスタートアップもあるのだが、中国の企業が先に商品化して驚き。
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半球型共振子ジャイロスコープは超高性能のハイエンド品。10年以上前、これをMEMS技術によって小形化したものがミシガン大学で提案され、研究されてきた。類似のものを中国の国防科技大学も研究し、論文発表していた。ミシガン大学発のスタートアップもあるのだが、中国の企業が先に商品化して驚き。
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Pavegenの床発電機は踏まれると1 cmくらい沈み込み、1歩あたり4~8 Jを発電する。ロンドンのユニクロに6システムを設置したところ4日間で114323回、踏まれて1.3 kWhの電力が得られたという。これは一世帯の1日の消費電力の1/10程度、日本だと電気料金にして40円分なので、その応用は冷静に考えるべき。
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以前に「水晶琴」という石英ガラスでできた楽器が話題になった。水晶も石英ガラスもSiO2だが、前者は結晶、後者はアモルファスで別物。ただ、材料固有のQ値(機械的損失の逆数)は室温では水晶も石英ガラスも似たような数値を示し、きちんと作ればどちらでも残響は良いはず。硼珪酸ガラスのQ値は低い。
石英ガラスの作業温度は1700~2000℃と非常に高い。一方、Pyrex、TEMPAXなどの硼珪酸ガラスのそれは1200℃くらい。加熱には酸水素バーナー等が用いられる。この時、石英ガラスが汚れていると失透(結晶化)する。石英ガラスは水素やヘリウムを比較的よく透過させることは意外に知られていないかも。
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青葉山の地下では昭和30年代まで亜炭が盛んに採掘されていた。今でもその坑道の一部が残っていて、東北帝愛グループの地下秘密工場があるという噂。某ぬいぐるみもそこで作られているらしい。そこでの通貨はペリカならぬタンイ。月給に相当する300タンイは地上のそれに換算すると僅か1単位なのだ。
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西澤記念資料館(旧半導体研究所1号館)に展示されている石英ガラスの芸術的な二重蒸留器。半導体研究に使う高純度の水やアルコールを得るために用いられたもの。西澤潤一先生が主宰した半導体研究所には腕利きのガラス職人がいた。今も弊学では理学研究科と多元物質科学研究所がガラス工場を持つ。
科学研究を支える炎の技術者。 科学実験に不可欠な唯一無二のガラス器具を作り出す「理化学ガラス職人(Scientific Glassblower)」。 透明なガラス管を旋盤に取り付け、バーナーを使って成形しています。曖昧な設計図から超精密な器具を製作できるプロフェッショナルです。 https://t.co/jGo52nXKpk
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学食で学生さん2人がコメットMk.Ⅰの話をしているのが耳に入りました。どなたかが講義で教えているのでしょう。繰り返し加圧試験の途中に耐圧試験を挟むと、疲労部の塑性変形のため疲労寿命を過大評価してしまうことは、当時は未知であり、英国の威信をかけて行われた事故原因調査でわかった知見です。
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ものづくり太郎さんとの対談で牧野フライス製作所は良い社風だとお話ししましたが、訪問してそう感じましたし、「1/4800のつぶやき。」という社員のnoteや絵本「おじいちゃんの大切な一日」が宣伝目的ではなく社員向けに制作された話(後に出版)からもそう感じます。ニデックとは社風が異なります。
いいnoteだった。to Bの装置産業が本質的に大きくはなり得ないってのは本当にそうだと思う。 とりあえずデカいガレージ作ったらマキノの汎用フライス置きたい。 1/4800のつぶやき。 ニデックによる牧野フライスへの「同意なきTOB」に思うこと|1/4800 #note
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ものづくり太郎さんとの対談でDUV露光機にもMEMSが使われていると言ったのはASMLの“FlexRay”のこと。レチクルに光を斜めに入れると、特定方向のパターンについては1次光と0次光の結像によって解像度が上がる。これを変形照明/斜入射照明と呼ぶ。この照明パターンをMEMSミラーによって任意に変える。
「YouTube「ものづくり太郎チャンネル」に、S-Hub運営委員 田中秀治教授(@mems6934)が出演されました」 半導体の機能や役割について、身近な製品を例に挙げながらわかりやすく解説しています。 ぜひご覧ください! https://t.co/yFoj0NB2Mq #東北大学 #半導体 #Shub
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「田中貴金属は神」と幣学の女子学生。この写真は田中貴金属財団提供のマグロ91 kg。マグロ解体ショーの後、学食にて山かけマグロ丼が300円で提供された。以前には立派な50円ドーナッツも。大多数の学生さんは同社が金を売買していると知っていても、ボンディングワイヤなどの産業事業はよく知らない。
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